光學原子力顯微鏡一體機
◆ 光學顯微鏡和原子力顯微鏡一體式設計,光電控制一體化;
◆ 同時具備光學和原子力顯微鏡成像功能,兩者可同時掃描成像,互不影響;
◆ 同時具備光學二維測量和原子力顯微鏡三維測量功能;
◆ 采用了垂直光路設計,配合氣液兩用型探針架可同時在空氣或液體中使用;
◆ 利用了高倍光學定位系統(tǒng),實現探針和樣品掃描區(qū)域精確定位;
◆ 簡易的激光光斑調節(jié)方式,可通過光學CCD窗口實時觀測及調節(jié)光斑;
◆ 單軸驅動樣品自動垂直接近探針,準確定位掃描區(qū)域,使針尖垂直于樣品掃描;
◆ 馬達控制加壓電陶瓷自動探測的智能進針方式,保護探針及樣品;
◆ 配備氣動式減震臺,抗干擾能力強,不影響儀器使用操作;
◆ 集成掃描器硬件非線性校正用戶編輯器,納米表征和測量精度優(yōu)于98%。
光學原子力顯微鏡一體機技術參數
◆ 原子力工作模式:接觸、輕敲、F-Z力曲線測量、RMS-Z曲線測量、摩擦力/側向力、振幅/相位、磁力和靜電力,可選配液體模式
◆ 原子力掃描范圍:XY向20um,Z向2um(可選配XY向50um,Z向5um)
◆ 樣品尺寸:Φ≤90mm,H≤20mm
◆ 掃描分辨率:XY向0.2nm,Z向0.05nm
◆ 樣品移動范圍:0~20mm
◆ 光學物鏡:5X,10X,20X,50X平場復消色差
◆ 光學目鏡:10X
◆ CCD傳感器:300萬像素
◆ 顯示屏:11.6寸平板顯示器,帶測量功能
◆ 光學調焦方式:電動調焦
◆ 掃描速率0.6Hz~4.34Hz,掃描角度0~360°
◆ 掃描控制:XY采用18-bit D/A,Z采用16-bit D/A
◆ 數據采樣:14-bit A/D、雙16-bit A/D多路同步采樣
◆ 反饋方式:DSP數字反饋
◆ 反饋采樣速率:64.0KHz
◆ 通信接口:USB2.0/3.0
◆ 運行環(huán)境:WindowsXP/7/8/10操作系統(tǒng)